EBSP検出器

菊池パターンの検出には、高感度なスロースキャンCCDを使用しており、鮮明にパターンの取り込みができ、高速な測定を行うことができます。また、どのようなSEMに取り付けることができるかは、ProductsのEBSPとは？（基本）をご覧ください。

EBSP取り付け例


京都大学　大学院　工学研究科　辻研究室 ご提供