ハードウェアーの構成
SEMで発生した菊池パターンは”Phosphor Screen”に投影され、”Camera”で取り込まれます。
取り込まれたパターンは直接IEEE1394を通して”Computer”に送られます。送られたイメージは画像処理、指数付けされた後、オイラー角のデータ等数値に変換、ハードディスクに保存され、後に解析ソフトで解析に使用します。
また、OIMでは定点の測定のみではなく、指定した測定範囲内で連続測定を行い、マッピングが可能となっております。これにはSEMのビームコントロールが必要なのですが、”SEM Contorol Unit”でビームコントロールを行います。より広い範囲の測定には”Stage Contorl Unit”を使用してSEM Stageのコントロールを行います。これらのコントロールの設定やコントロール自体はすべてコンピュータで行うことが出来ます。