EBSD 用試料引張ステージ

EBSD 用試料引張ステージ

EBSD用試料引張ステージは、EBSD観察を行いながら試料に一軸引張変形を与えることができる In-Situ 観察用ステージです。OIMとの組み合わせにより試料のダイナミカルな変形の様子を観察することが可能です。

1. 特徴

SEMステージに改造を施すことなく、標準の試料ホルダーを取り付ける場合と同様の操作で取り付けることを可能とした、コンパクトなEBSD用試料引張ステージです。最大引張力は引張ステージのサイズにもよりますが、1,000~2,000N と高出力になっています。各社SEMのステージに取り付けられるようSEMアダプター部分はカスタマイズした設計が可能となっています。また、 SEMステージとの干渉を避けるため、 試料を予め20゜傾斜した状態で取り付け、SEMステージを50゚程度傾斜して使用します。OIMは通常の測定とまったく同じように行うことが可能です。

2. 基本仕様

試料サイズ 長さ   36 ~ 52mm (引張ステージのタイプによる)
平行部  2mm x 10 mm 程度
試料厚さ 0.5 ~ 1.0mm程度
試料傾斜角 60゚~70゚
(プリティルト 0゚または 20゚、SEMステージ傾斜 50゚ )
最大引張荷重 1000N ~ 2000N (引張ステージのタイプによる)

最大荷重1500N タイプ

最大荷重1000N タイプ

最大荷重1000N タイプ

3. 基本構成

EBSD用試料引張ステージには、次に示すように実験に必要なものはすべて構成されています。 (取り付けるSEMをご指定ください)

  • EBSD用試料引張ステージ本体1台
  • 試料引張ステージコントローラー1台
  • SEMフィードスルーフランジ1個
  • 制御PC / モニター 1セット
  • ケーブル類1式
  • 引張制御ソフトウェア1式
  • 試料取り付け部品1式

4. 応用例

下図にはSUS304 焼鈍材を、引張ステージにて引張試験を行った時の変化を示しています。OIMの測定は各伸びのところで試料を荷重のかかったまま保持し実施しています。6%程度の変形ではIPF結晶方位マップではほとんど変化が見られませんが、KAM 結晶方位差マップでは大きな変化となって現れることがわかります。また、15% 変形のものでは、下図の相マップに上に緑で示したa相が認められるようになり、加工誘起変態が生じたことがわかります。