EBSD 用試料加熱ステージ

EBSD 用試料加熱ステージ

HSEAシリーズ EBSD用試料加熱ステージは、EBSD観察を行いながら試料を直接加熱することにより試料の再結晶や相変態の過程を直接観察することができる In-Situ 観察用ステージです。OIMとの組み合わせにより試料のダイナミカルな変化を観察することが可能です。

1. 特徴

SEMステージに改造を施すことなく、標準の試料ホルダーを取り付ける場合と同様の操作で取り付けることを可能とした、コンパクトなEBSD用試料加熱ステージです。 試料最高加熱温度は500゚C および1000゚C の2機種を用意しています。1000゚C 加熱時では本ステージ用に開発した専用小型高出力セラミックヒーターを採用し、さらに適切な熱シールドによりOIM検出器への影響はほとんどありません。OIM観察時はSEMステージにより試料加熱ステージ全体を70゜に傾斜し、通常のOIM測定と同様に観察が可能です。 また各社SEMのステージに取り付けられるようSEMアダプター部分はカスタマイズした設計となっています。

2. 基本仕様

試料サイズ 7 x 12 x 0.5~1.0t (500゚C タイプ)
5 x 7 x 0.4~0.7t  (1000゚C タイプ)
試料傾斜角 70゚ (SEMステージ傾斜 による )
温度測定 熱電対 (K-type) による (ヒーターおよび試料 の2カ所)
(1000゚C タイプは試料にスポット溶接)
温度制御 PID 制御 および マニュアル制御
HSEA-500

HSEA-500 試料最高加熱温度 500゚C

HSEA-1000 試料最高加熱温度 1000゚C

3. 基本構成

HSEAシリーズ EBSD用試料加熱ステージには、次に示すように実験に必要なものはすべて構成されています。 (取り付けるSEMをご指定ください)

  • EBSD用試料加熱ステージ本体1台
  • 試料加熱ステージコントローラー1台
  • SEMフィードスルーフランジ1個
  • 制御PC / モニター 1セット
  • ケーブル類1式
  • 保守・補用品1式
  • 小型ウォーターチラー1台 (HSEA-1000 のみ)
  • 熱電対用専用スポット溶接機1台 (HSEA-1000 のみ)
  • 試料取り付け用治具1式 (HSEA-1000 のみ)
  • 熱対策蛍光スクリーン1個 (HSEA-1000 のみ)

4. 応用例

SEM/EBSD法を用いたその場観察法を用いることにより、定量的な結晶学的情報を基に微細組織のダイナミックな変化の観察が可能となりました。HSEA-1000 加熱ステージは専用に開発した小型セラミクスヒーターを採用し、試料温度で最高1000゚C までの加熱が可能になっています。また、専用の蛍光スクリーンを用いることにより、 1000゚CでのEBSDパターンの取得が可能となっています。最高使用温度の向上により、鉄鋼材料のα/γ相変態等の観察にも適用可能となっています。

HSEA-1000 を使用した低炭素鋼におけるα/γ相変態の観察例