OIM 検出器

OIM用検出器

OIMでは標準検出器(DVC5 型) と高速型検出器 (Hikari Super)の2種類をご用意しています。 標準検出器は高解像度EBSDパターン(1kx1k pixels) の取込から、通常のOIM観察まで対応可能な万能型検出器です。高解像度EBSDパターンを必要とする Wilkinson法*1 による弾性歪み解析にも対応可能です。高速検出器はスループット重視を目指した検出器です。高解像度EBSDパターンには対応していませんが、実用レベルで600点/秒以上の測定速度が得られ、効率の高い測定が可能です。 またTEAM ソフトウェアとの組み合わせではPRIAS Live*2 に対応しています。

*1 Wilkinson法には専用のソフトウェアが必要となります。
*2 PRIAS はEBSDパターンの輝度情報から反射電子像を構築する技法です。

oem-2-1