反射電子検出器
FSD検出器
EBSDでの測定は、試料を70°に傾斜して行うため、SEM機能の反射電子検出器は使用できません(試料に接触してしまう可能性があります。そのため、菊池パターンを検出する蛍光スクリーン付近に反射検出器を取り付け、反射電子像の検出を行い、スキャン範囲を明確にするためのオプションです。
FSD検出器画像例(Ni)


BEI
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SEI
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EBSD検出器
菊池パターンの検出には、高感度なスロースキャンCCDを使用しており、鮮明にパターンの取り込みができ、高速な測定を行うことができます。
また、どのようなSEMに取り付けることができるかは「OIM とは何ですか?(PDFファイル ダウンロード 約5.39MB)」をご覧ください。
EBSD取り付け例



