反射電子検出器

FSD検出器

EBSDでの測定は、試料を７０°に傾斜して行うため、SEM機能の反射電子検出器は使用できません（試料に接触してしまう可能性があります。そのため、菊池パターンを検出する蛍光スクリーン付近に反射検出器を取り付け、反射電子像の検出を行い、スキャン範囲を明確にするためのオプションです。

FSD検出器画像例（Ni)

BEI
×200

×500

×2000

×10000

×20000

SEI
×200

×500

×2000

×10000

×20000

EBSD検出器

菊池パターンの検出には、高感度なスロースキャンCCDを使用しており、鮮明にパターンの取り込みができ、高速な測定を行うことができます。

また、どのようなSEMに取り付けることができるかは「OIM とは何ですか？（PDFファイル　ダウンロード　約5.39MB）」をご覧ください。

EBSD取り付け例

京都大学　大学院　工学研究科　辻研究室 ご提供