OIM検出器・反射電子検出器

OIM用検出器

OIMでは、以下4種類の検出器をご用意しています。

DigiView(Digiview5)標準検出器

検出素子にCCDを使用した、従来型の検出器です。通常のOIM 観察から高解像度な菊池パターンを必要とするWilkinson法*1 による弾性歪み解析にも対応しています。

Orion 高速検出器

検出素子に最新型のCMOS素子を使用しています。菊池パターンの解像度を犠牲にすることなく、高速なOIM測定を実現しています。

Velocity 超高速検出器

Orion検出器の長所をそのままに、さらに高速化した、ハイスペックな検出器です。この、超高速な特性を生かし、PRIAS Live*2の描画や広範囲の測定にも適しています。

Clarity 超高解像度検出器

検出素子に、電子直接検出素子を使用しており、超微弱な菊池パターンの検出や、超高解像度菊池パターンの取得が可能な検出器です。それにより、より電子線ダメージを受けやすい、生物無機結晶性サンプルなどにも威力を発揮します。

*1 Wilkinson法には専用のソフトウェアが必要となります。

*2 PRIAS はEBSDパターンの輝度情報から反射電子像を構築する技法です。

反射電子検出器

FSD検出器

EBSDでの測定は、試料を70°に傾斜して行うため、SEM機能の反射電子検出器は使用できません(試料に接触してしまう可能性があります。そのため、菊池パターンを検出する蛍光スクリーン付近に反射検出器を取り付け、反射電子像の検出を行い、スキャン範囲を明確にするためのオプションです。

FSD検出器画像例(Ni)

BEI×200

BEI×500

BEI×2000

BEI×10000

BEI×20000

SEI×200

SEI×500

SEI×2000

SEI×10000

SEI×20000

EBSD検出器

菊池パターンの検出には、高感度なスロースキャンCCDを使用しており、鮮明にパターンの取り込みができ、高速な測定を行うことができます。

また、どのようなSEMに取り付けることができるかは「OIM とは何ですか?(PDFファイル ダウンロード 約5.39MB)」をご覧ください。

EBSD取り付け例

京都大学 大学院 工学研究科 辻研究室 ご提供