EBSD検出器

菊池パターンの検出には、高感度なスロースキャンCCDを使用しており、鮮明にパターンの取り込みができ、高速な測定を行うことができます。また、どのようなSEMに取り付けることができるかは、ProductsのEBSDとは？（基本）をご覧ください。