Products

株式会社 TSLソリューションズ

OIM 結晶方位解析装置

EBSD(Electron BackScatter Diffraction) 法を利用したミクロな材料組織観察装置です。 SEMに取り付けたOIM 検出器により、EBSD パターンを取込・指数付を行い、専用の解析ソフトウェアで、多彩な組織解析が可能となります。

■ OIM 結晶方位解析装置本体詳細について
■ OIM 検出器について
■ 反射電子検出器(オプション)
■ OIM 結晶方位解析装置 仕様と構成

In-Situ 実験装置

OIM結晶方位観察装置と組合わせ、試料の熱処理や加工処理時のダイナミカルな組織変化の直接観察を観察とするEBSD用 In-Situ実験試料ステージです。

■ 試料引張ステージ
■ 試料加熱ステージ

透過EBSD法 試料ホルダー

OIM結晶方位観察装置を使用しTEM試料の結晶方位マップを得るために使用する試料ホルダーです。各社SEMに対応した透過EBSD法試料ホルダーを用意しています。

■ 透過EBSD法 試料ホルダー

CrossCourt 弾性歪解析ソフト (BLG社製品)

EBSDパターンは実格子を反映したパターンです。したがって結晶格子が歪めば、その変化は非常に微小ですが、EBSDパターン上の微小な変化となって現れます。相互相関関数を用いこの微小な変化を検出することにより、結晶格子の弾性歪を測定します。

■ CrossCourt3.2 弾性歪解析ソフト

ASTAR TEM用結晶方位解析装置 (NanoMegas社製品)

TEM の照射電子線を試料上でPrecessionさせ、ダイナミカルな効果を低減した回折パターンを得ることで、回折パターンの指数付精度を上げます。さらに試料上で連続的に照射電子線を走査することで、EBSDと同様の結晶方位マップをTEMで得ることが可能となります。空間分解能はSEM-EBSD法をはるかにしのぐ2nm程度が可能となります。

■ ASTAR / TopSpin TEM用結晶方位解析装置