OIM 結晶方位解析装置

EBSD法とは

oem-1-1SEM 中で結晶性試料を大きく傾斜し電子線を照射すると、右図のようにEBSD(Electron BackScatter Diffraction)パターンが発生します。このEBSD パターンを専用のEBSD検出器により連続収集しながら、指数付けおよび結晶方位を算出を行います。この連続した結晶方位データを用い、ミクロな材料組織の評価を行うことを目的に設計された専用のデータ解析ソフトウェアによってマップ・プロット・チャートなどに展開することが可能となります。 このEBSD法を用いミクロな材料組織の観察を行う手法を OIM (Orientation Imaging Microscopy) と称します。

OIM Data データ収集

oem-1-2OIM Data Collection(OIM-DC) ソフトウェアでは、検出器の制御やEBSDパターンの取込の制御、取込んだEBSDパターンの指数付・結晶方位の算出等を行います。OIM-DCではシンプルな画面構造で、高い操作性を実現しています。多機能のバックグラウンド処理では、輝度変化の激しい透過EBSDパターンの指数付けにも十分に対応可能です。 フレキシブルな条件設定の可能なHough変換制御では、WDが大きくずれた測定条件でも、適切なバンドの検出が可能です。OIM-DCで採用している3バンド法による指数付は、高い信頼性と指数付速度を両立した最も優れた指数付手法です。多相材においても、指数付速度の低下は最小限です。またConfidence Indexによる指数付けの信頼性評価はデータ解析で重要な役目を果たします。
OIM –DC は、EDSデータの同時取り込みや、SEM ステージを制御し連続つなぎ測定を自動で行うCombo Scan、そして3次元再構築用連続データの取得にも対応しています。Data Collection ソフトウェアは、最も効率の高いEBSDデータ収集ソフトウェアです。

OIM Data データ解析

OIM-DC で収集したデータは、ミクロ組織の解析を目的として開発されたOIM-Analysis ソフトウェアで解析します。 OIM-Analysis ソフトウェアは、材料のミクロ組織解析に必要な多くの機能を1つのソフトウェアに効果的にまとめた豊富な機能を持つ使いやすいEBSDデータ解析ソフトウェアです。 マップ、極点図・逆極点図そしてグラフへの展開、さらにこれらのデータを関連付けながら解析を行うHighlight/Partition 機能など、簡単な表現から高度な解析まで対話型の分かりやすいインターフェースを使いながら操作が可能です。OIM Analysis ソフトウェアは、最も高い評価を受けているEBSD用データ解析ソフトウェアです。

特徴

oem-1-3

  • 全ての機能を1つのプログラムにまとめた、メニュー形式の分かりやすい対話型インターフェース。
  • 50種類を超える多様なマップ機能 ・・ 結晶方位/方位差マップ等では、これまでにない局所的な変形挙動の理解に役立ちます。 また白黒のマップとカラーマップのオーバーレイ表示も可能です。
  • プロット機能では、極点図・逆極点図・ODF の表示の他、MDF の表示にも対応しています。
  • マップやプロットで表現されたデータは、すべてチャートとして定量的に表示が可能です。
  • Highlight機能によるマップ・プロット・チャートデータの関連付けが可能です。またHighlightされたデータは、別データとして保存することも可能です。
  • CI値・IQ値等のパラメータを使用したデータフィルタリング、パーティショニング機能を実現しています。
  • フレキシブルな解析条件設定が可能です。
  • 使用頻度の高い機能のファンクションボタンに定義でするオペレーションのカスタマイズが可能です。
  • バッチ処理機能による大量のデータ処理が可能です。

oem-1-4
OIM は、通常の組織解析の他、試料に変形や加工を加えながらミクロ組織の変化を直接観察するIn-Situ 観察法、FIB-SEM との組合せに試料をセクショニングで削りながら観察する33次元組織観察法、高解像度EBSDパターンの直接比較よる弾性歪み測定、EDS による元素情報の同時取込による相分析等々日々進化するEBSD法によるミクロな材料組織解析の表銃的解析ソフトウェアとして高い評価を得ています。

PRIAS 反射電子像 (一部構成ではオプション)

oem-1-5EBSD用反射電子検出器(FSD) は通常右図のようにセットされます。しかし試料からの反射電子を最も受けているのはEBSD検出器そのものです。このEBSD検出器が検出したパターン像にWindow を設定し、そのWindow 内の信号を輝度信号として反射電子像を形成する技術です。Windowの設定する場所で意味合いの異なった像が得られます。また、パターン像の差分を輝度信号として像を作ることも可能です。これにより、これまでに無い情報量の多い像を得ることが可能となります。

oem-1-6